摘要(yao):基于熱(re)傳遞原(yuan)理,設計(jì)了一種(zhong)大量程(chéng)氣體流(liú)量傳感(gǎn)器。 采用(yong)FLUENT進行結(jié)構的仿(pang)真.結合(he)權重法(fǎ)确定🏃‍♀️傳(chuán)感器的(de)結構模(mó)型。研究(jiū)🔞了傳感(gǎn)元件的(de)溫度特(tè)性💞.确定(dìng)了🌈傳感(gǎn)器的工(gōng)作狀态(tai)。設計了(le)傳💰感電(dian)路,對傳(chuan)感器進(jin)行了自(zì)動溫度(du)補償。測(cè)量中采(cai)用兩種(zhǒng)不同的(de)測量原(yuán)理.使傳(chuán)感器能(neng)夠檢測(cè)微小⁉️流(liú)量和中(zhong)、大流量(liang).提高了(le)🍉傳感器(qì)的測量(liang)範圍。實(shí)驗結果(guǒ)表明該(gāi)傳感器(qi)測量流(liu)量✌️量程(cheng)爲0.14 m'/h~ 130 m'/h,測量(liàng)誤差優(yōu)于1.5%。
　　熱式(shì)氣體流(liu)量傳感(gǎn)器是利(li)用熱傳(chuan)遞原理(li)實現對(duì)氣體質(zhì)量流量(liang)的直接(jie)🔴測🥵量",其(qi)按⭐結構(gòu)可分爲(wèi)熱分布(bù)型和浸(jin)人型。熱(rè)分布式(shi)型氣體(tǐ)流量傳(chuan)感✉️器可(kě)測量低(di)流速微(wēi)小流量(liang)鬥🧑🏽‍🤝‍🧑🏻;浸人(ren)型🙇‍♀️氣體(tǐ)流量傳(chuan)感器主(zhǔ)要應用(yong)于中、大(dà)管徑的(de)較高流(liú)速測量(liàng),而對于(yu)低流速(su)氣體的(de)測量精(jīng)度和⛷️靈(ling)敏度都(dōu)較低。采(cai)用5個熱(re)電阻PT1000 集(ji)成于同(tong)-基片的(de)傳感元(yuán)件,通過(guò)傳感電(diàn)路設計(jì),使得氣(qì)體流量(liàng)傳感器(qi)在小流(liu)量時采(cai)用熱分(fèn)布型測(ce)量原理(li),在大流(liú)量測🏃量(liàng)時♉采用(yòng)浸人式(shi)測量原(yuan)理,從而(ér)實現了(le)流量的(de)大量程(cheng)測量。同(tong)時,由于(yú)該傳感(gǎn)器放置(zhi)在管道(dào)内部,因(yīn)此傳感(gǎn)元件周(zhōu)圍的流(liu)場及流(liú)速大小(xiao)将較大(dà)影響流(liu)量測量(liàng)的性能(néng)。因此，首(shou)先對😄傳(chuán)感器結(jié)構進行(hang)仿真,通(tōng)過.Solidworks軟件(jiàn)設計傳(chuan)感器的(de)9種結構(gou)模型引(yin),采用🏃🏻‍♂️FLUENT仿(páng)真技🈚術(shù)獲得不(bu)同傳感(gan)器結構(gòu)模型的(de)管内流(liu)場等🍉速(sù)線水平(píng)剖面圖(tu)及管内(nei)傳感元(yuan)件截面(miàn)的面平(ping)均速💃度(dù),并結合(hé)權重法(fa)對仿真(zhen)數💋據進(jìn)行處理(li),确定傳(chuan)感器㊙️系(xì)統結構(gòu)模型。然(ran)後研究(jiu)了傳感(gǎn)器的📧溫(wen)度特性(xìng)[4],設計🌈了(le)傳感測(cè)量電路(lù),實現對(dui)氣體在(zài)大量程(cheng)範圍内(nei)流量正(zheng)确的測(cè)量。
1測量(liang)原理
　　氣(qi)體流量(liàng)傳感器(qì)是在不(bu)同流量(liang)段分别(bié)采用熱(rè)分布型(xing)和浸人(ren)型的測(ce)量原理(li)。熱式氣(qi)體傳感(gǎn)器的傳(chuan)🐆感元❓件(jian)置于管(guan)道中心(xin)[5]，傳📱感元(yuán)件如圖(tú)1所示。管(guǎn)道中沒(méi)有氣體(ti)通過時(shí),管道内(nei)的溫度(du)場是對(dui)稱的。熱(rè)電阻R.、R。、R、R, ,作(zuò)爲熱源(yuán)和溫度(dù)傳感器(qi),R。用💛于氣(qi)體介質(zhì)溫度的(de)測量。當(dāng)有微小(xiǎo)氣體流(liú)過時,上(shang)遊熱電(diàn)阻R.R,的溫(wen)度下降(jiàng)比下遊(you)熱❄️電阻(zu)R、R,明顯,氣(qi)體将上(shàng)遊的熱(re)量帶到(dao)下遊,引(yin)起3管⛹🏻‍♀️道(dào)内部溫(wēn)度場變(biàn)化61,則氣(qì)體的質(zhì)量流量(liang)

　　式中E爲(wei)單位時(shi)間内輸(shū)出流量(liàng)計的電(diàn)功率,c,爲(wei)被測氣(qi)體的比(bǐ)定壓熱(rè)容,ΔT爲上(shang)下遊溫(wen)差
　　随着(zhe)氣體流(liu)速的增(zeng)加,氣體(ti)的流動(dòng)引起熱(re)電阻Rs1、Rs2. s3、Rs4、溫(wēn)度🌈的變(biàn)📞化🐕,電路(lù)提供給(gěi)四個電(dian)阻的3電(dian)功率等(deng)于氣體(ti)流動對(dui)熱換流(liú)帶走的(de)🏒熱量,即(ji)

2熱式氣(qi)體傳感(gǎn)器系統(tǒng)結構的(de)設計
　　由(yóu)于傳感(gan)元件通(tong)過圓柱(zhù)形支架(jia)固定在(zai)管道内(nei)部,圓柱(zhu)🏃‍♂️體開一(yi)矩形孔(kong)用于傳(chuán)感元件(jian)測量氣(qi)體流量(liàng),見圖2所(suo)示。傳感(gǎn)元件📱周(zhou)圍的流(liu)場對傳(chuán)感器的(de)靈敏度(dù)和重複(fú)性影響(xiang)較大。同(tong)時,傳感(gǎn)器的壓(yā)損也是(shì)一個重(zhòng)要的🆚評(ping)價指标(biāo)。因此,需(xū)要🏃🏻對傳(chuán)感器開(kai)孔尺寸(cun)進行仿(páng)真研究(jiū),以獲得(dé)理👈想的(de)結構.

　　首(shǒu)先采用(yòng)Solidworks軟件對(dui)氣體傳(chuán)感器模(mo)型進行(háng)建立,管(guan)道口徑(jing)爲💜50 mm,管🏃‍♂️道(dào)長度爲(wei)130 Imm,管道中(zhōng)支架爲(wei)小圓柱(zhù)體,直徑(jìng)爲12mm[7].
　　将網(wang)格文件(jian)導入FLUENT軟(ruan)件進行(hang)仿真并(bìng)保證各(gè)模型有(you)相同的(de)邊界條(tiao)件,設定(ding)管道内(nei)流體介(jie)質爲空(kong)氣,人口(kou)速🈲度取(qu)10 m/s,根據式(shì)(3)求出管(guǎn)道雷諾(nuò)數Re=337 84, 因此(ci)粘性模(mó)型爲k-epsilon。 爲(wèi)了防止(zhi)壁面有(you)邊界層(ceng)使得流(liú)體粘附(fu)管道,壁(bì)面選擇(zé)Moving wall。

　　式中V爲(wei)入口速(su)度,D爲管(guǎn)道直徑(jìng),η, 爲壓強(qiang)爲101.325 kPa、 溫度(dù)爲20 C的㊙️條(tiao)件下空(kōng)氣的運(yun)動黏度(dù)根據式(shì)(4)計算出(chū)湍流強(qiang)度1=4.345%[8]。

　　氣體(ti)傳感器(qì)插入管(guan)道中測(ce)量氣體(tǐ)的流速(su),會對氣(qì)🏒體的💔流(liú)場✉️有一(yī)定的擾(rao)動,不同(tong)的傳感(gan)器模型(xíng)對流場(chǎng)的擾動(dong)也不同(tong)[9]。因此需(xu)對傳感(gǎn)器模型(xíng)的尺寸(cun)進行設(shè)計仿真(zhēn),選擇最(zuì)佳模型(xíng)。如圖2所(suǒ)示,傳感(gǎn)元件置(zhi)于管道(dào)中，傳感(gan)元件長(zhang)7 mm,寬2.4 mm,厚0.15 mm。設(she)計矩形(xing)孔♌的尺(chi)寸,1分别(bie)取3 mm、4 mm、5 mm,h分别(bié)取9 mm、10 mm、11 mm,共9種(zhǒng)模型,研(yán)究不同(tóng)模型對(duì)流場産(chǎn)生的影(ying)響。
　　采用(yòng)FLUENT軟件10-1]1分(fen)别對這(zhè)9種模型(xing)設置相(xiang)同的邊(bian)界條件(jian)🆚,進行⭐數(shu)值📱模拟(ni)計算。分(fèn)别計算(suan)傳感元(yuán)件不同(tóng)位置的(de)平均速(sù)度。選取(qu)傳感元(yuán)🏒件中心(xin)截面的(de)編号爲(wèi)plane-5。按軸向(xiang)方向在(zai)plane-5前💜後分(fèn)别依次(ci)取5個截(jié)面,前面(miàn)兩截面(mian)平行距(jù)離爲0.24 mm,分(fen)别編号(hao)爲plane-0, plane- 1, plane-2...共11個(gè)截面,如(ru)圖3所示(shì),這些🌈截(jié)面上的(de)面平均(jun1)速度可(kě)通過數(shù)值計算(suan)獲得。

圖(tú)4所示爲(wèi)幾種矩(jǔ)形孔的(de)管内流(liu)場等速(su)線水平(píng)剖🌈面圖(tú)
　　從圖4可(ke)以看出(chu),矩形孔(kǒng)的面積(jī)越大,傳(chuan)感器前(qián)後的漩(xuan)渦區💛越(yuè)小，流場(chang)分布均(jun)勻,這是(shì)因爲矩(ju)形孔的(de)面積越(yue)大,對流(liú)體的阻(zǔ)礙作用(yòng)越小,對(duì)管道内(nei)的流場(chǎng)🤩影響越(yuè)小[12]圖5表(biao)示9種不(bú)‼️同傳感(gǎn)器模型(xíng)11 個截面(mian)的面🔞平(ping)均速度(du)🔞分布圖(tu)。


　　從圖5可(kě)以看出(chū)，矩形孔(kǒng)的面積(ji)越小，其(qí)面平均(jun1)速度越(yue)大🔆,但對(duì)🈚流體的(de)阻礙作(zuo)用變大(da),使得流(liú)體的能(néng)量損失(shi)多。對⛹🏻‍♀️于(yu)管内的(de)🐪傳感元(yuán)件,11個截(jié)面的面(mian)平均速(sù)🛀度分布(bu)🌏越穩定(ding)，管内速(su)度分布(bù)✍️的變化(huà)越小,對(dui)流場的(de)擾動越(yue)✂️小。由式(shì)(5)貝塞爾(er)公式🔆求(qiu)出标準(zhǔn)偏差,度(du)量🍓數據(ju)分布的(de)分散程(cheng)度

　　式中(zhong)v;分别爲(wèi)第i截面(mian)的面平(píng)均速度(dù),0爲11 個截(jie)面平均(jun1)🔞速度的(de)🥰平均✏️值(zhí),n爲11。
　　表1爲(wèi)9種不同(tóng)傳感器(qi)模型的(de)0值、S值和(hé)壓損，這(zhè)三個因(yīn)素決定(ding)了💃🏻傳感(gan)器模型(xing)的尺寸(cùn)選擇,0值(zhi)越大則(ze)量程比(bǐ)越大,S值(zhí)和壓損(sun)越小則(zé)流體通(tōng)過傳感(gǎn)器時損(sun)失💃的能(neng)量越小(xiǎo)，流體分(fen)布也越(yue)穩定。從(cóng)表1可以(yǐ)看出,矩(jǔ)形孔的(de)面積越(yuè)大,值越(yuè)小,而s值(zhi)和壓損(sǔn)越💜小。可(kě)以看出(chu)壓損最(zui)大⚽值與(yǔ)最小值(zhí)🧑🏽‍🤝‍🧑🏻相差約(yuē)0.84 p,且對傳(chuan)感器評(ping)定😘影響(xiǎng)不大，在(zai)💃評定時(shí)可以忽(hū)略壓損(sǔn)這個因(yin)素，因此(ci)😄可通過(guo)權重[1”]來(lái)評定0值(zhí)和S值在(zài)整體評(píng)價中的(de)相對重(zhong)要程度(du),并根據(jù)式(6)計.算(suàn)出綜合(hé)評價值(zhí),從而确(que)定傳感(gan)器的模(mo)型

　　式中(zhong)Vk爲綜合(he)評價值(zhi),wk爲權重(zhong),xk爲各因(yīn)素的數(shu)值,k=1,2,3,4,5,6,7,8,9。
　　用算(suan)術平均(jun1)法計算(suàn)各因素(sù)的平均(jun)數x。和标(biāo)準差sk,根(gen)💋據式(7)計(jì)算出各(gè)因素的(de)标準差(cha)系數,它(tā)反映各(gè)因素的(de)相對變(bian)異程度(dù)

　　根據式(shi)(7)、(8)計算出(chū)二個因(yin)素的?k值(zhi)和wk值,并(bing)根據式(shì)(6)計算出(chū)9種模型(xíng)對應的(de)Vk 值,如表(biao)1所示口(kou)

根據表(biao)1的V,值,可(kě)以确定(dìng)寬3高9的(de)模型爲(wèi)最佳模(mó)型。
3傳感(gan)元件溫(wen)度特性(xìng)的研究(jiū)
　　氣體經(jīng)過傳感(gǎn)元件表(biǎo)面時會(huì)帶走熱(rè)量從而(ér)引起測(ce)☂️量電路(lù)🍉電🙇‍♀️壓信(xìn)号的變(biàn)化,當傳(chuan)感元件(jiàn)上的熱(re)電阻Rs1、Rs2、Rs3和(he)Rs4與氣體(tǐ)溫差較(jiao)小時🤩,傳(chuán)感元件(jian)靈敏度(dù)會降低(dī),但電流(liu)過大時(shí)會損壞(huai)傳感元(yuan)件并增(zeng)💁加電路(lù)的功📱耗(hào),因此需(xu)對傳感(gǎn)元件的(de)溫度特(te)性進行(háng)🧑🏽‍🤝‍🧑🏻研究4],圖(tu)6爲傳感(gǎn)元件溫(wen)度特性(xìng)研究⭕實(shi)驗圖。
　　傳(chuan)感元件(jiàn)放置在(zai)溫度可(ke)調的恒(héng)溫箱中(zhōng),電路加(jiā)恒☁️定💃🏻的(de)電壓10 V ,在(zài)不同的(de)工況條(tiao)件下調(diao)節電位(wèi)器的大(da)小使電(dian)流保持(chí)恒定,并(bing)測量傳(chuán)感元件(jian)的電壓(yā)V,然後計(ji)算傳感(gan)元件相(xiàng)應電📞路(lù)的阻值(zhí)和工作(zuò)溫度。實(shi)驗中恒(héng)溫箱型(xíng)号爲GHX高(gāo)溫恒溫(wēn)試驗箱(xiang)，電壓由(you)可調直(zhi)流穩壓(ya)電源提(ti)供,型号(hao)爲🙇🏻MPS- 3003L-3,電壓(ya)表型号(hào)爲VC9807A。首先(xian)從低到(dào)高調節(jiē)恒溫箱(xiang)溫度并(bing)調節電(dian)位器大(dà)小使💔電(diàn)流🌂接近(jìn)于6.2 mA,同時(shí)測量對(dui)應溫度(dù)下熱電(diàn)阻兩端(duān)的電壓(ya)。在同一(yi)溫度記(ji)錄3個😘數(shù)據,将這(zhè)三個數(shù)據👈平均(jun)後計算(suàn)出該溫(wēn)度下熱(re)電阻♊的(de)阻值,同(tóng)時計算(suàn)出傳感(gan)元件的(de)工作溫(wen)度和環(huán)境溫差(chà)。實驗數(shù)據見表(biǎo)2所示。


　　從(cóng)表2可以(yi)看出,在(zai)電流恒(heng)定時,環(huán)境溫度(dù)越高,傳(chuan)感元件(jian)溫度也(ye)越高,但(dàn)是與環(huan)境溫度(du)之間的(de)差值基(ji)本恒定(ding)在100 C,此時(shí)傳感元(yuán)件靈敏(min)度高且(qiě)電流小(xiao)而不會(hui)對傳感(gǎn)元件🎯造(zao)成損壞(huài),以此⛱️作(zuo)爲設計(ji)測量電(dian)路的依(yī)據。
4傳感(gan)電 路設(shè)計
　　一種(zhǒng)新型的(de)流量傳(chuan)感電路(lù),如圖7所(suo)示。傳感(gǎn)元件由(you)熱電阻(zu)R, R,R、R,、R.,構成，與(yu)精密電(dian)阻R2、R3、R.、Rs、R。構成(cheng)惠斯通(tong)電橋,該(gai)電路能(neng)實現溫(wen)度補償(cháng),并能檢(jian)測管道(dào)中氣體(ti)的方向(xiàng)。電路中(zhōng)精密電(dian)阻R2與熱(rè)電🏃阻R并(bing)聯♊不僅(jin)防止通(tong)過R..的電(dian)🤟流過大(dà),而且可(ke)提高溫(wēn)度補償(chang)❄️的準确(que)度。爲了(le)使傳感(gǎn)元件輸(shū)出👌與氣(qì)體溫度(dù)無關的(de)穩定🆚電(diàn)壓,理想(xiang)情🥵況下(xià)在任何(he)環境溫(wēn)度下應(ying)滿足式(shì)(9)。

　　工作時(shi)将氣體(tǐ)傳感器(qi)放入測(cè)量管道(dào)中心,當(dang)有微小(xiao)氣體♈流(liú)🈚過時，上(shang)遊熱電(dian)阻R,,、R..的溫(wēn)度下降(jiang)比下遊(you)熱電阻(zǔ)R，、R明顯,氣(qi)體将上(shàng)遊的熱(rè)量帶到(dao)下遊,熱(re)電阻溫(wen)度場變(biàn)化引起(qi)電壓信(xìn)号V2變化(hua),V2反應了(le)微小流(liu)速氣體(tǐ)的流量(liàng)✍️。當管道(dao)中有中(zhōng)高流💞速(sù)氣體通(tong)過時,熱(rè)電阻R,、R,、R，、R.構(gou)成的熱(re)👉電阻R。的(de)熱量被(bèi)氣體帶(dài)走而引(yǐn)起阻值(zhi)變化,從(cong)而導緻(zhi)傳感電(diàn)路的電(dian)流發生(shēng)變化,熱(rè)電阻R。用(yòng)于溫度(du)補償。通(tōng)過測量(liàng)熱電阻(zǔ)R。R,.和✔️精密(mi)電阻構(gòu)成的⛹🏻‍♀️惠(hui)斯通電(dian)橋的輸(shu)出電壓(ya)V,即可反(fǎn)應此時(shi)管道中(zhōng)氣體的(de)流量。

5氣(qì)體流量(liàng)實驗研(yán)究
　　運用(yong)鍾罩式(shi)氣體流(liu)量标準(zhun)裝置進(jin)行氣體(ti)流量測(cè)試。裝置(zhi)運用🥵鼓(gu)風機進(jin)行鍾罩(zhào)的充氣(qi),三個閥(fa)門用于(yú)控制氣(qì)體流動(dong)。該設備(bei)的測量(liàng)不确定(ding)度爲0.5%，其(qi)能夠供(gòng)給的流(liu)量範圍(wei)爲0~220 m'/h。設備(bèi)原❓理圖(tu)如📐圖8所(suǒ)示，實物(wù)圖如圖(tú)9所示


　　按(an)照表1的(de)仿真結(jie)果,本實(shí)驗選用(yong)評價值(zhi)相差較(jiào)大的兩(liǎng)個傳感(gan)器進行(hang)實驗,即(ji)傳感器(qi)1和傳感(gǎn)器9,其對(dui)應的開(kai)孔尺寸(cùn)🈚分别爲(wèi)寬3高9和(hé)寬5高11。
　　由(you)于不同(tóng)的流量(liàng)範圍測(ce)量原理(lǐ)不同,流(liu)量測量(liang)實驗分(fèn)爲2部分(fèn)，其中小(xiao)流量的(de)測量範(fàn)圍爲0.405m'/h~2.841 m'/h。在(zài)不同的(de)流量點(diǎn)對輸出(chū)電壓V2進(jìn)行三次(cì)測量，獲(huo)得流量(liàng)與平均(jun)輸出電(diàn)壓的關(guān)系曲線(xian)如圖10所(suǒ)示。傳🈲感(gǎn)器1在小(xiao)流♈量測(ce)量中,不(bú)同流量(liang)與輸出(chu)電壓關(guān)系爲星(xīng)形點,測(ce)量重複(fu)性最大(da)值爲0.5%。傳(chuán)感器9在(zai)小流量(liang)測量中(zhong),不同👄流(liu)量與輸(shū)出🥵電壓(ya)關系爲(wei)圓形點(diǎn),測量重(zhòng)複性最(zui)大值爲(wei)0.8%。比較傳(chuán)感器1和(hé)傳感器(qi)9的輸出(chu)特性,可(kě)知傳感(gan)器9由于(yu)開孔略(lue)大,輸🔴出(chū)的電壓(ya)值略微(wēi)偏小，而(er)且重複(fú)性略大(da)于傳感(gan)器1,與仿(páng)真的結(jie)果相同(tóng)。

　　随着流(liú)量增加(jia),對傳感(gǎn)器在2.841 m'/h至(zhì)130.3 m'/h範圍内(nei)進行流(liú)量實驗(yàn)。在不同(tóng)的流量(liàng)點對輸(shū)出電壓(ya)V進行三(san)次測量(liang),獲得流(liú)量與✂️平(ping)均輸出(chu)電壓🥵的(de)關系曲(qu)線如圖(tú)11所示。傳(chuán)感器1的(de)不同流(liú)量與輸(shu)出電壓(ya)關系爲(wei)星形點(diǎn),測量重(zhòng)複性最(zui)大值爲(wèi)0.5%。傳感器(qi)2的不同(tong)流量與(yu)👈輸出電(dian)壓關系(xi)爲圓形(xíng)點,測量(liang)重複性(xìng)最大值(zhí)爲📞1%。如圖(tu)11可知傳(chuán)感.器9的(de)輸出🛀電(diàn)♻️壓值略(lue)微偏小(xiǎo),與表1的(de)與仿真(zhen)的仿真(zhen)數據相(xiang)❌吻合。
　　傳(chuán)感器1具(ju)有較好(hao)的輸出(chū)特性和(hé)測量重(zhòng)複性,與(yu)仿真🔆結(jié)果🚶‍♀️--緻。因(yīn)此,以下(xià)對傳感(gan)器1進行(hang)具體分(fen)析。

運用(yòng)MATLAB拟合電(diàn)壓與流(liú)量之間(jian)的關系(xi)公式[ 16],得(dé)到傳感(gǎn)器1的🚶數(shù)🔴據模型(xíng):

　　式(10)和式(shì)(11)所示的(de)數學模(mo)型分别(bie)用于測(cè)量小流(liu)量和🌈大(da)流量。通(tong)過拟合(hé)數值和(hé)輸出電(dian)壓可計(ji)算得到(dào)最大偏(pian)差Amre由式(shi)(12)可🧡計算(suan)得到拟(ni)合Lmax誤差(chà)γYL°

　　其中ym爲(wèi)最大流(liú)量點的(de)電壓。在(zai)小流量(liang)時拟合(he)誤差爲(wei)🌂1.42%,而♻️在大(da)流量時(shi)爲1.40%。由于(yú)傳感器(qì)1的重複(fú)性最大(da)值YR均爲(wei)♈0.5%,由式(13)可(kě)以計算(suan)得到測(ce)量誤差(chà).

　　由式(13)可(kě)得在小(xiǎo)流量範(fàn)圍内最(zuì)大測量(liang)誤差.爲(wèi)1.50% ,在大流(liu)量範圍(wei)内爲1.49%,由(yóu)此可認(ren)爲測量(liang)誤差爲(wei)1.50%。對造成(chéng)誤差的(de)主要原(yuan)因有氣(qi)體擾✂️流(liu),流場分(fen)布和氣(qi)體濕度(dù)🔞等。另外(wai),傳感器(qì)的熱輻(fú)射和熱(rè)傳導同(tong)樣會造(zao)成測量(liang)誤差。
　　由(yóu)實驗可(kě)得,傳感(gan)器能夠(gòu)在0.4 m'/h至130m'/h的(de)範圍内(nei)測量氣(qì)體流量(liàng),其❓重複(fu)性優于(yú)0.5% ,測量誤(wu)差爲1.5%。
6結(jié)論
　　熱分(fen)布型和(hé)浸入型(xing)相結合(he)的熱式(shì)流量測(ce)量方法(fǎ),設計了(le)一🌍種大(da)量程氣(qi)體流量(liàng)傳感器(qì)。通過FLUENT仿(pang)真技術(shù)和權重(zhòng)法确定(dìng)最佳傳(chuán)感器的(de)結構模(mó)型，研究(jiu)傳感元(yuán)件的溫(wēn)度特性(xìng),提出了(le)氣體介(jie)質溫度(dù)的自動(dong)補償方(fang)法并設(shè)計流量(liang)傳感電(dian)路。實驗(yan)結果表(biǎo)明,該傳(chuan)感器測(cè)量量程(cheng)爲0.4 m'/h~130n2/h,測量(liàng)✏️誤差優(you)于1.5%,擴大(da)了熱式(shi)流💘量傳(chuan)感器的(de)流量測(cè)量範圍(wei)。

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