摘要:讨論了(le)金屬管浮子(zi)流量計 加裝(zhuang)阻尼器在多(duō)晶矽生産中(zhōng)的應用方案(àn),并對流量計(ji)👌使用🌐阻尼器(qì)前後的效果(guǒ)作了對比。
1金(jin)屬管浮子流(liu)量計的工作(zuo)原理及一般(ban)應用
　　轉子流(liu)量計 ,又稱浮(fú)子流量計,金(jīn)屬浮子流量(liàng)計由于其結(jié)構簡♉單，可🈲靠(kào)性強,可輸出(chu)标準信号,并(bìng)能實現流量(liàng)的指示、積算(suàn)、記錄.控制和(he)報警等多種(zhong)功能,所以在(zai)工，業🌈生産中(zhōng)被廣泛應用(yong)。
1.1金屬管浮子(zǐ)流量計的工(gōng)作原理
　　金屬(shǔ)管浮子流量(liang)計采用可變(bian)面積式測量(liang)原理。llj 主要由(you)三🏒部分組成(chéng):測量管、浮子(zǐ).耦合指示系(xi)統。如原理圖(tu)所示,相對✍️應(yīng)測量介質的(de)某--流量。磁性(xìng)浮子在測量(liang)管中對應一(yī)個浮子位置(zhi).這個浮子位(wèi)置通過指示(shi)器中的經過(guò)充🌐磁的磁耦(ou)合指示系統(tǒng)帶動指♉針,由(yóu)刻度盤和指(zhi)針讀出相應(ying)的流量計。也(ye)可配裝不同(tong)的轉換器.将(jiang)流量值轉換(huan)👈成标準的電(diàn)遠傳信号,從(cong)而實現遠距(ju)離顯示、記錄(lù)、積算和控制(zhì)功能。金💘屬管(guan)轉子流量計(jì)在耦合指示(shì)系統的設計(ji)上可以爲各(ge)種應用場合(hé)提供可靠适(shì)用的功能組(zu)合,如現🏃‍♂️場指(zhǐ)針顯示、LCD顯示(shi)瞬時和累計(ji)流量等。在指(zhǐ)示器供電選(xuǎn)擇方面有電(diàn)池供電、24VDC供電(diàn)、220VAC供電,方式根(gēn)據現場情況(kuàng)選擇。
 
1.2金屬管(guan)浮子流量計(ji)的一般應用(yòng)
　　工業上常用(yong)的流量計除(chú)了金屬轉了(le)流量計外，還(hái)有 差壓流量(liang)計 、 渦街流量(liàng)計 、 電磁流量(liàng)計 、 超聲波流(liú)量計 、 渦輪流(liú)量計 、 橢圓齒(chi)輪流量計 等(děng)。每種流量計(ji)在針對不同(tong)的被測流體(tǐ)、不同的流動(dòng)👌狀💋态🌈、不同✏️的(de)測量場所,各(gè)有其優勢和(hé)劣勢.比如在(zai)流速不同的(de)場合中,中高(gao)流速下的流(liú)量測量已有(yǒu)孔闆.渦街等(deng)🔱多種流🔴量計(ji)能夠實現正(zhèng)确測量,而在(zài)較低流速、較(jiào)高壓力的流(liu)量測量中,尤(you)其低雷諾系(xì)數的情況下(xià).金屬管浮子(zi)流盤計就🧑🏾‍🤝‍🧑🏼起(qi)到非常重要(yao)的作用。
 
2金屬(shǔ)管浮子流量(liang)計加裝阻尼(ní)器在多晶矽(xi)生産中的🛀應(ying)用
2.1阻尼器的(de)工作原理
　　使(shǐ)自由振動衰(shuāi)減的各種摩(mo)擦和其他阻(zu)礙作用，我㊙️們(men)稱之爲阻尼(ni)。而可以提供(gong)運動的阻力(li),耗碰運動能(neng)量的裝置,我(wǒ)們稱爲阻尼(ní)器。目前各種(zhǒng)應用中有:彈(dan)貧阻尼器、液(yè)壓阻尼器、粘(zhan)滞❤️阻尼器.氣(qi)阻尼器、電磁(ci)阻尼器🙇🏻等。
2.2金(jin)屬管浮子流(liú)量計在使用(yòng)中出現的問(wen)題
　　轉子流量(liang)計在多晶矽(xī)生産現場使(shǐ)用過程中,由(you)于測量介質(zhì)瞬間流量過(guò)小或不穩定(dìng)、操作壓力低(dī)或不穩定,儀(yi)表前後測量(liàng)管道内徑變(bian)化過大，前後(hou)直管段嚴重(zhòng)不符合使用(yòng)規定要求，尤(yóu)其是測量介(jie)質爲氣體等(deng)情況下會♈造(zao)成流量計測(ce)量管内介質(zhi)流動極不穩(wěn)定,引起浮子(zi)發生跳動的(de)現象。浮子的(de)垂直上下直(zhí)線運動通過(guò)磁耦合🏃‍♂️系統(tǒng)傳遞、傳化爲(wei)指針軸的轉(zhuan)動運行,與指(zhi)針軸組合成(chéng)一-體的指針(zhen)轉🔆動從而擡(tái)示介質的瞬(shun)時流量。流量(liàng)計測量管中(zhong)浮子發生的(de)跳動現象傳(chuán)遞給指針,就(jiu)變成爲指針(zhen)連續不停頓(dun)的擺動現象(xiang)，造成流量指(zhǐ)示不穩定,甚(shèn)至根本不能(neng)讀取刻度值(zhi),确定瞬時流(liu)量數值。如果(guǒ)現場出現這(zhè)種現象,通常(chang)的處理方法(fa)是分析造成(chéng)指針擺動的(de)主要原因,多(duo)數情況下從(cóng)多晶矽生産(chan)工藝上采取(qǔ)措施,改善介(jie)質流動狀況(kuàng)💰,從而減少、避(bì)免指針的擺(bǎi)動。但是很🔱多(duō)時候指針擺(bai)動👅的頻率、幅(fu)度很難從根(gēn)本.上避免、降(jiang)低。
2.3氣阻尼器(qì)在金屬管浮(fu)子流量計中(zhōng)的應用
　　在儀(yi)表測量管中(zhōng)加裝氣阻尼(ni)器成爲解決(jue)浮子跳動,指(zhi)👣針擺動的有(you)效方法之一(yī)。該裝置包括(kuò)氣阻尼頭與(yu)㊙️氣阻尼套⚽,二(er)者♊爲間隙配(pei)合,二者間形(xing)成的腔❄️體中(zhōng)充滿測量🚩介(jie)質,當浮子向(xiang)🍉上或向下運(yun)動時,測量介(jiè)質必須排出(chu)或進人腔體(tǐ),由于阻尼頭(tou)與阻尼套之(zhī)間間隙🍉很小(xiǎo)，測量介質排(pai)出或進人腔(qiāng)體的速度滞(zhi)後于浮子向(xiang).上或向下運(yùn)動的速度.從(cong)而起到阻尼(ni)效果,降低.浮(fu)子向.上或向(xiàng)下運㊙️動的速(sù)度,過低🧑🏽‍🤝‍🧑🏻指針(zhen)擺動的頻率(lü)、幅度。
2.3.1氣阻尼(ní)器使用中需(xu)要注意的問(wèn)題。
　　現有阻尼(ní)裝置中的氣(qi)阻尼頭與阻(zu)尼套之間的(de)配合🤩爲面接(jie)觸.與流量計(ji)測量管與介(jiè)質流動極不(bú)穩定,引起浮(fu)💯子發生跳動(dòng),加之加工誤(wu)差,常會使氣(qì)阻🤟尼頭随浮(fú)子導向.杆産(chǎn)生偏移.導緻(zhì)氣阻尼頭過(guo)快的磨損，嚴(yan)重時使氣😄阻(zǔ)尼套卡住,影(ying)響阻尼效果(guǒ),縮短氣阻尼(ní)裝置的使用(yòng)壽命。
2.3.2解決方(fang)案。
　　爲了解決(jué)可能存在的(de)不足,可采用(yòng)了以下新技(jì)術。改變氣阻(zu)尼頭與氣阻(zu)尼套之間的(de)配合方式,使(shǐ)之✉️配合🤟的表(biao)面形狀爲球(qiú)面,球面的圓(yuán)心在氣阻尼(ni)頭與氣阻尼(ní)套配💜合的中(zhōng)軸線上,使氣(qi)阻尼頭與氣(qì)阻尼套之間(jian)的配合爲✨線(xiàn)性接觸。當氣(qì)阻尼頭随浮(fu)子導向杆産(chan)生偏移時,氣(qi)阻尼頭與氣(qi)阻尼套之間(jiān)的配合始終(zhong)是線🙇‍♀️接觸，既(jì)可防止🏃‍♀️氣阻(zu)尼頭與氣阻(zǔ)尼套卡住.義(yì)🌈使氣阻✨尼頭(tóu)磨損平均,延(yán)長了氣阻尼(ni)裝置使用壽(shou)命。
 
2.4電磁阻尼(ni)器在金屬管(guan)浮子流量計(jì)中的應用
　　由(yóu)于轉子流量(liàng)計的測量管(guǎn)爲機械結構(gou).測量時對波(bo)動很敏♌感,經(jīng)常會出現指(zhi)針波動嚴重(zhòng),甚至影響讀(du)數✍️的情況。除(chú)了在☂️測量管(guan)中加裝氣阻(zǔ)尼器之外,還(hái)可以在指針(zhēn)組件中增加(jia)電📧磁阻尼器(qì),使指針擺動(dong)的頻率、幅度(dù)大幅度降低(dī)，使指針指示(shì)穩定，刻度值(zhí)讀取變得💰容(róng)易，讀取精🔆度(dù)更高。
　　電磁阻(zu)尼器的工作(zuo)原理。電磁阻(zu)尼器由磁鋼(gang)、連接件、金屬(shu)闆等組裝後(hou)爲一體。指針(zhen)的配重爲導(dao)電金屬鋁合(he)金💋,根據電磁(cí)感應定律,配(pèi)重在磁場中(zhōng)運動，切割磁(ci)力線.必然産(chǎn)生感應電動(dong)勢,從⛹🏻‍♀️而在配(pei)重中❄️産生渦(wo)電流;磁場對(duì)帶電導體必(bì)然産生💔作用(yòng)力,而此作用(yong)力恰好起到(dào)阻礙配重在(zài)磁場中運動(dong)的作㊙️用,配重(zhòng)運動的🌏速度(dù)越大,産生的(de)反作用也越(yue)大,其效果類(lei)似于阻尼器(qi),從而🐉使電磁(ci)阻尼器起到(dao)降低指針擺(bǎi)動頻率、幅度(dù)🧑🏾‍🤝‍🧑🏼的作用.達到(dao)穩定的效果(guo)。
 
　　與現有技術(shù)相比，通過增(zeng)加電磁阻尼(ni)器裝置,可有(yǒu)效改善流量(liàng)計的使用效(xiao)果，使指針的(de)擺動頻率和(he)☁️幅度大幅度(du)降低，指♊針穩(wen)☔定指示,刻度(dù)值的讀取變(biàn)得容易👅，讀取(qu)精度提高,既(ji)提高了效率(lǜ)🏃‍♂️也保證了精(jīng)度。

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