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敏感元件是(shì)能夠靈敏地(di)感受被測變(biàn)量并作出響(xiang)✍️應的元☁️件。如(rú):彈性膜盒能(néng)感受壓力的(de)高低而引起(qi)形變,形變的(de)程度就是對(duì)壓力高低的(de)響應,因此,彈(dàn)性膜盒🔞是一(yī)種壓力敏♈感(gǎn)元件。
傳感器(qi)不但應該對(duì)被測量敏感(gǎn),而且具有把(ba)它對🈚被🏃♀️測量(liàng)的響應傳送(song)出去的功能(néng)。也就是說,傳(chuán)感器⚽不隻是(shì)一般的敏感(gan)💘元件,它的輸(shū)出響應還必(bì)須是易于傳(chuan)送的物⚽理量(liàng)。例如:上訴的(de)彈性膜盒的(de)輸出響應是(shi)形變,是微小(xiǎo)♍的幾何量,不(bu)便于向遠方(fāng)傳送🛀🏻。如果把(ba)膜盒中心的(de)位移轉變爲(wei)電容極闆的(de)間隙變化,就(jiù)成爲🔞輸出響(xiang)應是電容量(liang)的
壓力傳感(gǎn)器。
由于電信(xìn)号便于傳送(song),所以絕大多(duō)數傳感器的(de)輸出是電🏃♀️量(liang)的♉形式,如電(dian)壓、電流、電阻(zǔ)、電感、電容、頻(pin)率等。
變送器(qì)是從傳感器(qì)發展而來的(de),凡能輸出标(biao)準信号的傳(chuan)感器就稱爲(wèi)變送器。(标準(zhun)信号是物理(lǐ)量的形式和(hé)數值範圍都(dōu)🌐符合👈标準的(de)信号。例如直(zhí)流4~20mA)有🏃了統一(yi)⭕的信号形式(shi)和數值範圍(wéi),就便于把各(ge)種變送器和(hé)其他儀表組(zǔ)🆚成檢測系統(tong)或調節系統(tǒng)。
輸出爲非标(biao)準信号的傳(chuán)感器,必須和(hé)儀表或裝置(zhì)配💋套🔴,才能🍓實(shí)現檢測或調(diào)節功能。爲了(le)通用性和靈(ling)活性🈲,某些❌傳(chuán)感器的輸出(chū)可以靠轉換(huàn)器把非标準(zhun)👣信号轉換成(chéng)标⚽準信号,使(shǐ)之與帶有标(biao)準信号的輸(shū)入電路或接(jie)口的儀表配(pèi)套。不同的标(biao)準信号也可(ke)借助于轉換(huan)器互相轉換(huàn)。例如利用氣(qi)/電轉換器,能(néng)把20~100 kPa的空氣壓(yā)力轉換成0~10mA的(de)直流電流。
位(wei)式作用和連(lian)續作用:
位式(shì)作用,也稱爲(wèi)開關作用,即(ji)傳感器在輸(shu)入變量整♊個(ge)變化範🈚圍内(nèi)其輸出相應(ying)隻有兩種狀(zhuang)态,例如空氣(qì)🍓狀态的“高”和(he)“低”。
位式作用(yong)的傳感器多(duō)用于被測變(bian)量的超限報(bào)警、連鎖保護(hu)🐇、順序控制。例(lì)如我們的壓(yā)力開關。
需要(yao)連續檢測或(huo)調節某些變(biàn)量時,就必須(xu)用連續作用(yòng)的傳感🌍器或(huo)變送器。
長野(ye)的變送器中(zhōng)所使用的傳(chuán)感器SS—蒸發型(xing)半導體應變(biàn)片的特點:
(1)相(xiàng)對于粘貼式(shì)和擴散式技(ji)術。
(2)其可測壓(ya)力範圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
(3)具有(you)耐用性和穩(wěn)定性。
半導體(ti)應變片的制(zhì)作方法:粘貼(tiē)方式、蒸發方(fang)式、擴散♌方式(shi)。
長野的變送(sòng)器,如KM31、KM10 等,其半(bàn)導體應變片(piàn)部分、感應元(yuán)件(不🔆鏽鋼🐪隔(gé)膜)以及壓力(li)接口部分通(tōng)過焊接連接(jiē)成一體,具有(yǒu)很高的穩定(ding)😘性和可靠性(xing),抗震性和抗(kàng)沖擊性良好(hao)。
蒸發式半導(dao)體應變片的(de)具體制作方(fāng)式如下:
(1)在不(bú)鏽鋼隔膜上(shang)使用CVD等離子(zǐ)沉澱一層SiO2絕(jué)緣膜
(2)在SiO2絕緣(yuán)膜上再沉澱(diàn)一層多晶矽(xi)。
(3)在多晶矽上(shàng)使用激光蝕(shi)刻,應變片成(chéng)型 。
(4)用電子束(shù)照射蒸鍍,配(pèi)上金制電極(jí)。
(5)再使用CVD等離(lí)子沉澱一層(céng)SiNx保護膜。
根據(ju)傳感器或變(biàn)送器的安裝(zhuang)場所有無易(yi)燃易爆氣體(ti)及危險程度(dù),選擇隔爆型(xíng)及本安型。
(1)隔(gé)爆型在内部(bù)電路和周圍(wei)易燃氣體之(zhi)間采取了隔(gé)離措施🏃♀️,允許(xu)使用在有一(yi)定危險性的(de)環境裏 。
(2)本安(an)型即本質安(ān)全型的簡稱(chēng),依靠設計的(de)電路保證在(zai)正常工作及(ji)故障(意外短(duǎn)路或斷路)狀(zhuàng)态下都不會(hui)引起燃爆事(shì)故,可用在十(shí)分易燃易爆(bao)的場所。
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